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半导体气体隔膜阀产品介绍

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      随着半导体芯片的需求不断增加,世界半导体电子格局正在进行不断壮大的洗礼,中国半导体行业也在不断飞速增长;

      中国政府要求在2025年前实现70%供应商市场自给率,从而带动了电子特气等上游原材料的发展,给特气阀门产业带来了更多的商机。

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半导体用气体阀—SUS-55L系列不锈钢制隔膜容器阀:

产品概述:不锈钢隔膜阀,具有耐用性的优势报告,相比较栓隔膜阀,价格有优势;气密性与栓隔膜阀相同;有金属触控式(连接气体部分不用树脂零件)类型的产品,氟混合气体也能对应;灌装口可对应JIS、CGA等各种规格

A、 可支持小容器用

B. 适用气体:腐蚀性、毒性、高纯气体、可燃性气体


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半导体用气体阀—EGVN系列栓隔膜式容器阀:

产品概述:栓隔膜式容器阀,与普通隔膜阀相比,成功将阀内死角削减60%,因此提高了清洗性能,增加其耐腐蚀性能,Cv值提高至0.6,能满足要求大流量的客户;采用特殊平面阀座可减少过大扭力导致的阀座变形;使用温度范围:-20~+65℃

A. 最高使用压力可根据客户需求调整

B. 适用气体:腐蚀性、毒性、高纯气体

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半导体用气体阀—PAW系列气动式栓隔膜容器阀:

产品概述:阀门的内部构造与EGVN系列统一,与以往机型相比,执行器实现了大幅度的小型、轻量、高推力;执行器为弹簧负载作业,实现了无油化                                                                                                     A.   作为慢速机能,阀门慢慢打开,能抑制压力急速上升;紧急时没有空气供给的情况下阀门也能关闭;(也可手动关闭)

B.   适用气体:从石蜡、醇酸等特殊材料气体,到毒性、腐蚀性、高纯度氦、高纯度氯,以及氨气等液化气体都可以广泛对应


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不锈钢隔膜型容器阀   FS-55LN

高纯度气体用不锈钢隔膜阀—FS-55

具有防止震动导致手柄松动的功能。最适用低压液化气体

 轻快顺畅的方向盘开关动作。容器内压14.7MPa,可通过手动操作完全关闭

 参考CV值为0.3   材质使用SUS316L不锈钢材料


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背压阀座式容器阀—G12

阀门主体使用C3771黄铜材料,基座为双O型环构造,适用于抽真空

  特氟龙质地密封圈及双O环,保持高气密性能

  适用于He、CO2(LG)等多种高纯度气体

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隔膜式容器阀—G-55L

☆  阀门主体使用C3771黄铜材料

☆  采用与不锈钢制隔膜阀SUS-55L型相同结构,可保持高耐久性

☆  使用研磨质地隔膜板,因此为无润滑剂规格

☆  GX-55L取得AL认证


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固定式不锈钢SUS304(ZDC2)蝶阀

使用条件:

 适用于狭小场所,操作更方便

 最高使用压力1.96MPA

 使用温度:-10~120℃

 介质:水、油、气

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