【适用气体】
腐蚀性,毒性,易燃,超高纯气体(半导体):NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高纯气体及混合气体。
【特征 1】 成功削减约60%的死角空间,清洁性能,耐腐蚀性更出众
①气体很难在阀体内滞留,阀的主件不会受到功能损坏或腐蚀。
②可保证气体纯度,对半导体品质的影响降低到最低限度。
【特征 2】 Cv值0.4∽0.6
①适用于液化气的大流量阀门,也可用于压缩气体。是划时代的产品!
②进出口螺纹及形式由客户指定的规格标准生产。
【特征 3】 采用特殊的平垫片
①可减轻因扭力过大导致的垫片变形。
参数:
最高工作压力 | 15MPa; 20MPa |
使用温度 | +5℃∽+40℃ |
钢瓶接口 | JIS B8246 V2 EN629 25E 3/4-14NGT可选 |
充装接口 | CGA/DISS/JIS/DIN/BS可选 |
氦检漏(Pa.m³/sec) | 1.0X10‾⁹以下 |
执行器工作压力 | 0.5-0.7MPa |
执行器接口 | ϕ4/ϕ6 可选(软管快插) |
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