【适用气体】
腐蚀性，毒性，易燃，高纯气体（半导体）：NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高纯气体及混合气体。
【特征 1】清洁性能，耐腐蚀性更出众
①气体很难在阀体内滞留，阀的主件不会受到功能损坏或腐蚀。
②可保证气体纯度，对半导体品质的影响降低到最低限度。
【特征 2】 Cv值0.35
①适用于液化气的一般流量阀门，也可用于压缩气体。
②进出口螺纹及形式由客户指定的规格标准生产。
【特征 3】 采用特殊的平垫片
可减轻因扭力过大导致的垫片变形。
参数：
最高工作压力 | 20MPa； |
使用温度 | -20℃∽+65℃ |
钢瓶进口 | JIS B8246 V2 EN629 25E 3/4-14NGT可选 |
充装出口 | CGA/DISS/JIS/DIN/BS可选 |
氦检漏（Pa.m³/sec) | 1.0X10‾⁹以下 |
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